廢氣處理設備

KT1000FA設備採電熱水洗式設計，比一般瓦斯燃燒式機種節省耗材成 本，也不會有燃燒後產生二氧化碳的問題。其均溫性佳，處理效率較 高，台灣兩大晶圓代工廠共採購KT1000FA超過1,100台。KT1000FA 堅固耐用且安全，第一部售出的機台已逾八年，至今仍未除役，深受 客戶肯定。 適合處理: Deposition gas SiH4, SiH2Cl2, WF6, NH3, PH3, SiCl4, TEOS, Si2H6, TDMAT, GeH4, 3MS, 4MS　etc. 適合處理: Cleaning gas: NF3