台灣康肯環保設備股份有限公司

日本康肯株式會社（Kanken Techno）1978年成立，投入高科技產業的揮發性有機氣體（VOCs）處理，已有30年以上專業經驗，為製程廢氣處理（Local Scrubber）的專家，在日本Scrubber界市占率第一。Kanken台灣子公司---台灣康肯環保設備公司2008年7月成立。 KT1000FA設備採熱電式設計，比吸附式機種節省耗材成本，也不會有瓦斯燃燒式機種會產生二氧化碳的問題。其均溫性佳，處理效率較高，台灣前二大晶圓代工廠共採購KT1000FA超過2,000台以上。第一部售出的機台已逾七年，至今仍未除役，深受客戶肯定。 KT1000FA---在12吋晶圓生產線的薄膜市佔率始終遙遙領先對手；在大陸、新加坡及馬來西市場也有很好的口碑。該機處理的濃度符合需求，可提供客製化機台為其最大優勢。 KT1000HA---處理NF3、C2F6及C3F8所需的溫度較高（1,100度以上），業界已採購100台以上，使用情形良好，是重視環保的企業眼中的優良產品。 KPL-Series--處理CF4,SF6,PFCs等需高溫分解氣體，本機台的特性為電漿處理方式，該機台已有100台以上實績，深受客戶肯定信賴。 ＊服務項目: 1.主要銷售日本KANKEN廢氣處理機台及其相關零件，多用於國內知名半導體廠。 2.機台安裝、Parts販賣、維修保養及問題排除。